双腔型(MNT-D系列)

发布时间:2021-07-08浏览次数:

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反应腔体

喷淋模式的双腔反应腔

衬底规格

4-8寸单片

三维复杂衬底/粉末与颗粒/多孔及高纵深比材料

RT-500 oC,控制精度±0.5 oC@双腔

阀门

Swagelok专用ALD阀门,耐热温度200 oC

前驱体源

液态、固态、气态以及臭氧源,容器标准50 mL挥发式容器和100 mL载气辅助式容器,其他规格可定制

最高可配备8路前驱体源

载气

N2或者Ar,质量流量控制器

管路源容器加热温度

配可拆卸加热套,RT-250 oC,控制精度±0.5 oC

真空系统

油泵、防腐油泵、干泵可选

压力传感器

检测范围1000-2.3*10-4 Torr

真空管路

烘烤至200℃,且真空泵前级配置热阱,加热温度300℃

控制

触摸屏+PLC

机柜

可移动铝型材框架,不锈钢面板

最大尺寸:1000*1500*1800 mm

选配

臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM

尾气处理装置




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