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单腔型(MNT系列)
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单腔型(MNT系列)

衬底尺寸:4-12英寸(可兼容156*156 mm,200 *200 mm衬底)

衬底温度:室温-400度(含水冷),控制精度:±1℃

真空腔:316不锈钢腔体

前驱体输送系统:4-6路(可选配液源、固源和气源)

沉积模式:快速模式、高纵深比模式和专业掺杂模式


选配

可选配臭氧发生器、膜厚原位在线测量、通风橱、手套箱、泵前吸附(热吸附、化学吸附及粉尘吸附等)、冷阱、尾气处理器等