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产品详情
等离子体增强型(MNT-P系列)
等离子体增强型(MNT-P系列)
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等离子体增强型(MNT-P系列)
衬底尺寸:4-8英寸
等离子体源:300W CCP或ICP
等离子体气源:H2、O2、NH3、Ar
前驱体输送系统:4-9路(可选配液源、固源和气源)

沉积模式:快速模式、高纵深比模式和专业掺杂模式


选配

可选配臭氧发生器、膜厚原位在线测量、通风橱、手套箱、泵前吸附(热吸附、化学吸附及粉尘吸附等)、冷阱、尾气处理器等